隨著電子信息產業的迅速開展，其癥結原資料光敏劑的市場需求越來越大。光敏劑是光刻膠產品消費中最重要的中心原料之一，消費的光刻膠普遍應用于光電信息產業的微細圖形線路的加工制造，是微細加工技巧的癥結性資料。

半導體材料廢水起源，重要是光刻膠和精致化學產業鏈相關產品，廢水中重要凈化物為鹽分、COD、苯、甲苯、石油類、總氮等凈化物，分為高濃度有機廢水、低濃度有機廢水、高鹽廢水等。關于高濃度有機廢水先進行預處理方能進行后續生化處理，高鹽廢水需進行脫鹽處理前方能進入后續生化處理。關于低濃度廢水可與經過預處理后的高濃度廢水和高含鹽廢水混雜落后行生化處理。經過生化處理后的廢水還需進行深度處理確保達標前方能排放。因而，半導體資料污水處理站的總體工藝為預處＋UASB＋A/O＋氧化積淀。

半導體材料廢水處理工藝：

（一）高濃度有機廢水預處理：

因為高濃度有機廢水有機物濃度高，可生化性差，為便于后續的生化處理，擬對其進行預處理。依據廢水水質特征，擬采取氣�。�鐵碳微電解＋Fenton氧化處理。

（1）氣浮工藝：

斟酌到半導體資料廢水中含有肯定的石油類物資及懸浮物，氣浮池重要是應用少量微氣泡撲捉吸附渺小顆粒膠黏物使之上浮，到達固液分別的后果。在氣浮池中投加破乳劑等使廢水中的石油類物資破乳、油脂上浮，從而到達除油的目標。經氣浮池處理后水中COD 的去除率可以到達10%，SS 的去除率可以到達80％。

（2）鐵碳微電解＋Fenton氧化：

鐵碳微電解因其具備應用規模廣、處理后果好、應用壽命長、老本昂貴及操作保護不便等長處，被普遍用于染料消費廢水、農藥廢水、醫藥廢水及電鍍廢水的管理。鐵屑和炭造成了許多渺小的原電池，反映生成的重生態的【H】等具備很高的活性，可以跟廢水中多種組分發作氧化復原反映。但鐵碳微電解獨自處理高濃度有機廢水的才能有限，聯合Fenton試劑對其處理后果進行強化可大大改良對有機物的去除后果，過氧化氫與二價鐵離子的混雜溶液造成Fenton試劑，具備強氧化性，氧化后果明顯�？梢詰�用Fe－C組成的無數微電池作為復原體系將廢水中的有機物復原、損壞掉；因為微電解歷程發作Fe（Ⅱ），催化H2O2生成強氧化性的·OH，進而氧化損壞有機物；在這個歷程中Fe（Ⅲ）的絮凝作用可以節儉H2O2的應用量，下降處理老本。

因而，選用鐵炭微電解＋Fenton作為高濃度有機物的預處理工藝，可以進步處理后果，使難降解有機物進一步斷鏈、開環，進步廢水可生化性。經鐵炭微電解＋Fenton處理后，廢水中COD、SS、甲苯的去除率分手可以到達50%，60%和80%。 

（二）綜合廢水處理體系：

經預處理后的高鹽廢水和高濃度有機廢水與其余廢水一同進入綜合調理池，進行水質和水量的調理，再經UASB＋A/O＋氧化積淀等處理后達標排放。

（1）UASB池

升流式厭氧塔（UASB）結構簡樸、廢水處理才能大、廢水處理效力高級特征。反映塔上部設有三相分別器。固液混雜液進入積淀區后，污泥發作絮凝，顆粒逐步增大，并在重力的作用下積淀。積淀在斜壁上的污泥沿著斜壁滑回反映器中，使厭氧區積攢少量污泥。分別出污泥后的處理水從積淀區溢流堰上部泥溢流，而后排出。在厭氧反映塔內發作的沼氣回升，當遇到反射板時折向反射板的周圍，而后穿過水層進入氣室，集中在氣室的沼氣用管道導出。

（2）A/O池

A/O池分為缺氧段和好氧段，在缺氧段異養菌將污水中的大分子碳水化合物等懸浮凈化物和可溶性有機物進一步水解為有機酸，使大分子有機物進一合成為小分子有機物，不溶性的有機物轉化成可溶性有機物，當這些經缺氧水解的產物進入好氧池進行好氧處理時，可進步污水的可生化性及氧的效力；在缺氧段，異氧菌的反硝化作用將回流的NO3－復原為分子態氮（N2）實現C、N、O在生態中的循環，實現污水無害化處理。

（3）氧化積淀

為了保障廢水的穩固達標，在生化體系出水之后設置深度處理體系。深度處理單元采取氧化積淀工藝，通過投加藥劑使廢水中發作Fenton氧化，進一步去除廢水中的有機物和懸浮物，保障出水穩固達標。

半導體材料廢水處理工藝

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